内容简介
本书聚焦半导体材料和后摩尔新材料的太赫兹(THz)发射光谱技术,介绍THz发射光谱技术的原理、发展进程以及系统应用,展示 THz 发射光谱技术应用于集成电路领域的巨大价值,旨在为实现集成电路先进制程提供技术支撑和解决问题的思路。
本书主要内容包括半导体THz发射光谱起源、光学THz发射光谱物理基础、光学THz辐射实验技术、Ⅲ-Ⅴ族半导体驱动THz辐射、二维材料THz辐射、拓扑量子材料THz辐射、磁性材料THz辐射和激光THz发射显微镜。
本书主要面向物理学、化学、材料科学等领域的科研人员、研究生,以及对THz技术感兴趣的读者。
目录
第 1章 半导体THz发射光谱起源 1
1.1 引言 1
1.2 GaAs辐射THz波 3
1.3 Auston天线辐射THz波 4
1.4 半导体THz波探测 5
1.5 THz发射光谱 9
1.6 本章小结 11
参考文献 11
第 2章 光学THz发射光谱物理基础 13
2.1 引言 13
2.2 飞秒激光泵浦THz发射光谱物理基础 13
2.2.1 极化电流产生THz辐射 15
2.2.2 传导电流产生THz辐射 17
2.2.3 磁偶极子产生THz辐射 18
2.3 光学拍频THz发射光谱物理基础 19
2.4 本章小结 26
参考文献 26
第3章 光学THz辐射实验技术 28
3.1 引言 28
3.2 飞秒激光泵浦THz时域光谱技术 28
3.2.1 飞秒激光器 29
3.2.2 传输光路 39
3.2.3 收集装置 41
3.2.4 探测模块 42
3.3 DFB激光器拍频THz频域光谱技术 51
3.3.1 THz-FDS系统原理 52
3.3.2 运用THz-FDS实现天线集成的硅等离子体石墨烯亚THz发射器 55
3.4 本章小结 61
参考文献 61
第4章 Ⅲ-Ⅴ族半导体驱动THz辐射 63
4.1 薄膜调控GaAs辐射THz波 63
4.2 十八硫醇钝化半绝缘GaAs表面的THz辐射特性 68
4.3 本章小结 74
参考文献 74
第5章 二维材料THz辐射 76
5.1 引言 76
5.2 二维半导体材料THz辐射 76
5.3 二维磁性材料与拓扑绝缘体异质结THz辐射 84
5.4 二维磁性材料与反铁磁异质结THz辐射 91
5.5 本章小结 98
参考文献 98
第6章 拓扑量子材料THz辐射 100
6.1 引言 100
6.2 拓扑绝缘体的性质表征 100
6.3 拓扑绝缘体反射式THz发射光谱 103
6.3.1 THz辐射常用手段 103
6.3.2 THz辐射来源 105
6.3.3 拓扑绝缘体THz辐射实验结果 107
6.3.4 GaAs与拓扑绝缘体THz辐射对比 111
6.4 线偏振激光激发下的拓扑绝缘体透射式THz发射光谱 112
6.4.1 线偏振激光入射实验 112
6.4.2 表面电流推导 116
6.4.3 理论分析 117
6.5 椭圆偏振激光激发下的拓扑绝缘体透射式THz发射光谱 120
6.5.1 椭圆偏振激光激发THz辐射的实验条件 120
6.5.2 实验结果 121
6.5.3 结果分析 123
6.6 本章小结 131
参考文献 131
第7章 磁性材料THz辐射 133
7.1 引言 133
7.2 铁磁/重金属异质结 134
7.2.1 基于逆自旋霍尔效应的THz辐射 134
7.2.2 飞秒激光双泵浦磁性纳米薄膜 136
7.2.3 基于磁性纳米薄膜的圆偏振可调控的THz波 138
7.2.4 表面等离激元效应增强磁性薄膜THz发射器 140
7.3 反铁磁/铁磁异质结 142
7.4 本章小结 150
参考文献 150
第8章 激光THz发射显微镜 152
8.1 引言 152
8.2 微米尺度激光THz发射显微镜 153
8.2.1 LTEM基本原理 153
8.2.2 LTEM系统结构 155
8.2.3 LTEM应用实例 157
8.3 激光THz发射纳米显微镜 159
8.3.1 LTEN系统 159
8.3.2 近场系统分析模型 160
8.3.3 高阶信号提取原理 162
8.3.4 应用实例 163
8.4 本章小结 169
参考文献 169